半导体设备

Diamond/Ruby微型单/多轴低压交流伺服，搭配交流伺服电机、音圈电机、DD马达（力矩电机），支持标准的EtherCAT控制器，尺寸小、精度高、响应快、省线缆，契合半导体行业设备空间小，性能高，高可靠的需求，发挥极致的伺服运动性能，成为引领行业发展的主流方案。

方案特点：
√  尺寸小 、精度高 、响应快、有力控、靠近电机安装、省拖链线（拖链内只有一根电源线+一根网线）、降低系统总成本、降低EMC、提升设备性能、提升设备可靠性、易维护性、易扩展性。
√ 空间小 重量轻、节省设备空间、减轻运动机构上有效载荷
√ 省线缆、伺服+电机集中安装
√ 响应快、提高生产/检测节拍
√ 提高可靠性、无拖链线缆寿命问题、降低EMC、满足电气安全
√ 提高电气性能、减小编码器传输时间延迟、降低寄生电阻电感、提升电流带宽、无拖链线带来的速度制约
√ 改进设备安装和维护易用性、研发易扩展性